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发布时间:2020-07-19 19:46:57
洁净室中的温湿度控制:
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。0米左右,覆盖面积约50m2以下,四支支柱可加装活动轮,可为弹性运用,可配套风淋室使用。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。注意:风淋室在吹淋时两个不锈钢门不能同时打开,如强行打开将损坏电子锁,风淋室两门是电子互锁控制。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。
无尘净化车间洁净棚的优势,施工速度快,安装方便,操作简便灵活,可移动。成本较低,维护方便,对楼层高度低不限。容易控制,FFU每台自带风机。洁净棚的框架一般有三种:不鏽钢方通,铁方通,铝型材。洁净棚顶部材料一般有三种,不鏽钢板,冷轧钢板喷塑,防静电网格围帘,有机玻璃。洁净送风部分,一般选择FFU层流罩(FFU风机过滤单元)洁净棚的围护材料一般包括:防静电围帘,(防静电)有机玻璃。在GMP车间净化系统停止运行期间,不允许把大的物件搬进净化车间。无尘净化车间清洁洁净室的地面应使用专用拖把。在洁净室里吸尘应使用带有***过滤器的专用真空吸尘器。所有的门都需要检查并擦干,吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面,架空地板下也要吸尘及擦拭。三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
空气的过滤对无尘车间很重要,它主要用于洁净度很高的生产车间的空气净化,要有过滤设备,同时要注意这两种气体灭菌时的操作规范。紫外线拥有很强的杀菌功能,使用方便,安装简单。化妆品的生产设备和仪器通常用热和化学制剂消毒,热的效果不错,但不适用大规模工业机器使用。因此很多企业使用化学法消毒,消毒前要用热水彻底清洗,保证没有微生物能够产生的温床,防止产品生产时受到污染。生产操作人员应熟悉自己的岗位职责,具有基础理论知识和实际操作技能,净化工程安装,能熟练地按工艺文件进行生产操作。灌装机管道等设备要很仔细认真清洗。洗面奶化妆品无尘车间的操作人员进入车间前要先用专用洗手液消毒,然后穿上无尘服,戴工作帽以及无尘手套,换上无尘鞋。还要建立个人健康检查制度,经常检查操作人员是否手指创伤等,对异常者及时进行调整。
GMP车间净化公司建设车间的基本原则:
1、不产生:不在车间产生任何灰尘,必须确保以下条件: A、GMP车间净化公司体型人员应穿洁净服方可进入车间 B、不使用容易产生灰尘的材料与设备。 C、不进行不必要的移动。 D、不带入无用品。
2、快速去除:快速去除车间内灰尘,必须做到以下几点: A、增加换气率。 B、在靠近产生灰尘的地方设置排气装置。 C、采用合适的气流形式以避免灰尘粘在产品上
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。风淋室维护的要点:1、定期使用仪器测定设备的各项技术指标,如不符合技术参数要求应及时予以处理。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
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